US /ˈflʊrˌin, -ɪn, ˈflɔr-, ˈflor-/
・UK /ˈflɔ:ri:n/
在這種情況下,會有一種反應物,即氟,從表面下來,蝕刻,與表面發生反應,然後產生副產品,即四氟化硅。
在圖中,我們有一個擴展部分。
我們經常使用的典型情況是氟,即氟的 CF4,基本上是蝕刻硅。
我們經常使用的典型情況是氟,即氟的 CF4,基本上是蝕刻硅。
如果我們談論的是真正的深度,而且是硅,那麼我們可以使用我們稱之為深度硅蝕刻工藝的氟基工藝,在蝕刻和沉積之間切換。
如果電阻太硬,它就會變質,很難去除,而且實際上會影響我們的深度剖面。
然而,鋰、鋁和有機化合物會被燒掉,而回收商必須處理這個過程中產生的有毒氟化合物。
像使用內燃機的交通工具中的鉛酸電池很容易拆解,幾乎所有的鉛酸電池都可以回收利用。
我們的 Trion 系統既是 IRE 也是 ICP,可提供氟基蝕刻氣體。
是以,您將在這裡看到我們系統的概述。
是以,碳、硫、鋅和鎘將成為二維惰性氣體的名稱,而二維鹵素(在三維中為氟、氯等)將改為硼、磷、銅、銀等。
是以,惰性氣體仍然是氖、氬、氪等,鹵素仍然是氟和氯等。